Научно-образовательный центр по направлению "Нанотехнологии" (НОЦ НТ) Южного федерального университета (ЮФУ) создан на базе Технологического института ЮФУ в г. Таганроге в рамках реализации Приоритетного национального проекта “Образование” и Федеральной адресной инвестиционной программы (мероприятия по развитию инфраструктуры наноиндустрии в РФ). В 2006-2008 г.г. для НОЦ НТ ЮФУ закуплено уникальное оборудование на сумму 479,3 млн.руб.

Область деятельности
  • наноматерилы
  • наноэлектроника
  • наносистемная техника
  • производственные нанотехнологии
  • биомедицинские нанотехнологии
  • нанодиагностика
  • нанохимия
  • нанофизика

  • Научные интересы
  • элементная база наноэлектроники и молекулярной электроники
  • элементная база квантовых клеточных структур и квантовых компьютеров
  • приборно-технологическое моделирование в наноэлектронике
  • исследование энергетического строения наногетероструктур
  • методы контроля электрофизических свойств наногетероструктур
  • планарные технологии с нанометровым разрешением
  • технологии формирования трехмерных наноструктур
  • зондовые нанотехнологии
  • фотонно-стимулированные процессы формирования наноструктур
  • микро- и наноаналитические системы состава жидких и газовых сред
  • микро- и нанооптикомеханические системы преобразования физических величин
  • датчики на основе наноструктурированных материалов и др.

  • Основными задачами НОЦ НТ являются:
  • учебная и учебно-методическая деятельность;
  • проведение научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ;
  • целевая подготовка и переподготовка специалистов для народного хозяйства, подготовка кадров высшей квалификации;
  • внедренческая деятельность по производству и реализации наукоемкой продукции.

  • Структура НОЦ НТ ЮФУ включает в себя следующие лаборатории:
  • лаборатория кластерных технологий (гермозона 1 - многофункциональный сверхвысоковакуумный нанотехнологический комплекс НАНОФАБ);
  • лаборатория элионных нанотехнологий;
  • лаборатория зондовых нанотехнологий;
  • лаборатория наноматериалов;
  • технологическая гермозона 2 (технологии микро- и наномеханики);
  • лаборатория микро- и наносистем;
  • лаборатория моделирования нанотехнологий и САПР;
  • лаборатория нанодиагностики;
  • центр лазерных технологий;
  • лаборатория оптоэлектроники и нанооптики.

  • Основные результаты:
  • основы технологии формирования планарных и трехмерных наноструктур
  • технология формирования каталитических центров для выращивания углеродных нанотрубок
  • фотонностимулированная технология формирования структур металлической наноэлектроники
  • теория, принципы построения, модели, методы и средства моделирования элементов наноэлектроники с управляемой передислокацией максимума амплитуды волновых функций носителей заряда в системе связанных квантовых областей, характеризующихся субпикосекундными задержками переключения
  • теория, принципы построения, модели, методы и средства моделирования интегральных инжекционных лазеров на основе наногетероструктур с управляемой передислокацией максимума амплитуды волновых функций носителей заряда, обеспечивающих амплитудную модуляцию излучения сигналами терагерцового диапазона для телекоммуникационных и вычислительных систем, средств связи, высокочувствительных систем медицинской диагностики, систем регистрации и анализа быстропротекающих физических процессов
  • принципы построения и теория трехосевых наномеханических сенсоров параметров движения объектов
  • методы и программные средства проектирования быстродействующих статических ОЗУ на основе наноразмерных элементов и др.

  • Основное оборудование НОЦ НТ:
  • комплекс НАНОФАБ НТК-9 фирмы NT-MDT, включающий модули: СЗМ, ФИП для создания 3D структур, ФИП с системой газовых инжекторов, ФИП локальной имплантации, лазерной абляции, ГФХО для осаждения углеродных нанотрубок, молекулярно-лучевой эпитаксии GaAs и твердых растворов на его основе, отжига образцов;
  • электронный микроскоп Nova NanoLab 600 фирмы FEI, включающий систему электронной литографии ELPHY, систему микроанализа EDS, систему газовой химии для осаждения и травления материалов;
  • комплект оборудования для исследований зондовыми методами: СЗМ Solver P47Pro, нанолаборатория Ntegra Vita, учебные СЗМ NanoEducator;
  • Комплект оборудования для технологий микро- и наномеханики: установки плазмохимического осаждения в индуктивно-связанной плазме STE ICPd 47 и STE ICPe 45, установка плазмохимического осаждения poly-Si VISION 310PECVD, установка плазмохимического травления в кислородной плазме YES-CV200RFS, установка электронно-лучевого и магнетронного напыления AUTO500, установка термического отжига STE ThA 49 LC, установка совмещения и экспонирования MJB4, центрифуга для нанесения резистов WS-400E-NPP, центрифуга для сушки образцов WS-400E-6NPP, плитка для сушки резистов HP-401-250, плитка для сушки образцов HP-160-250, шкаф химический для химико-динамического травления, печь диффузионная PEO-604, зондовая станция ЭМ6070А, измерительный комплекс Keithley 4200-SCS, установка для измерения ЭДС Холла Ecopia HMS-3000/1T, зонд для полуизолирующих подложек LEI 2017B, установка бесконтактного измерения удельного сопротивления LEI 1510m40 и др.
  • МН "Нанотехнологии" © 2011